クリーンルーム内の搬入・据付

クリーンルーム専用の機材を豊富に取り揃えております。

クリーンルーム内への搬入・据付作業は、ナグモ産業が最も得意とする作業です。
ジャッキ、ハンドフォーク、床養生などクリーンルームへ搬入・据付するための専用機材を豊富にそろえ、発塵しないようにクリーンアップしてから梱包保管しています。また、クリールーム用機材としてジャッキ、ハンドフォーク、養生生など、カスタマイズされた機材を豊富に取り揃えております。
半導体関連会社などからの依頼により、半導体工場・研究所・大学・病院などへの搬入・据付実績がございます。

クリーンルームでの作業の様子。厳密な清浄さを保つため、装備の性能とともにスタッフの細心さが問われます。

クリーンルーム内　半導体露光装置搬入据付作業

10t空調車6台、4t空調車1台、50tラフター、8tフォークリフト、ゴンドラ、1.5t電気フォークリフト、4日間で計50名を使用して、半導体露光装置の輸送・搬入・据付作業を行いました。
安全衛生協議会があり、作業の前の週にリスクアセスメント会議を行いますので、作業計画書を作成し発表しました。
ゴンドラも構造計算されたものを使用しました。
当日の作業としては、8tフォークリフトにより、本体をトラックから卸し、ゴンドラに載せ、50tラフターにて、3Fに搬入しました。
前室にてクリーンアップを行った後、クリーンルームに入れるのですが、設置場所はさらにクリーン度の高いクリーンルームとなっており、さらに70cm高いアクセスフロアとなっているため、電動リフター、スロープ、ステージ、テーブルリフターを使用して、搬入・設置を行いました。